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深硅刻蚀机-变更公告

发布时间： 2024-11-25

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变更公告详情

项目名称：深硅刻蚀机招标人：*** 招标编号***告1.3设备技术要求7)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm” 变更为：“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm” 变更为：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。特此公告中科信工程咨询（北京）*** ******月***日 ******

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