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硅光有源流片加工服务（清采比选20250513号）延期公告

发布时间： 2025-04-13

发布时间	2025-04-13	截止日期	立即查看
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变更公告详情

硅光有源流片加工服务（清采比选***号）延期公告

延期信息

延期理由：	由于该项目报价*不满足要求，本项目延期至*无

最高限价***d colspan="3">￥ 226,000.00未公布
采购项目名称	硅光有源流片加工服务	采购项目编号*bind="enquiry.code" class="ng-binding">清采比选*号
公告开始时间	***	公告截止时间***	***
对外联系人	咨***道已	联系电话	*328咨*道已
签约时间要求	成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位***)	交货时间要求	签订合同后3个工作日内
采购单位	***
国内合同付款方式	合同签订后50%，验收合格后50%
交货地址	*市*
供应商特殊资质要求	无

采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
硅光有源流片加工服务	20	项

品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价***	￥ 11,300.00
技术参数及配置要求	基于CMOS工艺线，采用200 mm SOI 衬底（BOX 3μm，顶层硅 220 nm），提供整套硅基光子器件制作工艺。主要工艺模块包括：248nm/293nm精度DUV光刻、220nm/150nm/70nm高精度刻蚀工艺、增强型Poly-Si光栅工艺、锗材料外延工艺、高速调制器和锗探测器的掺杂工艺、介质材料生长工艺、TiN加热器电极工艺、钨填充孔工艺、硅和锗的欧姆接触及金属互连工艺等。需要提供PDK与MPW服务。
质保期

***

***

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标签：清华大学

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