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【上海,宝山区】低压等离子清洗系统采购公告

招投标详情

上海大学
低压等离子清洗系统采购公告

项目编号***>

根据《上海大学采购管理办法(试行)》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》,上海大学微电子学院因教学、科研需要,现以上大迅采方式采购低压等离子清洗系统。

一、供应商资质要求

1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。

2、供应商未被列入“信用中国”网站(www***)失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单,和中国政府采购网(www***)政府严重违法失信行为记录名单的供应商。

二、项目概况

项目编号***pan style="padding-right:30px;">项目名称:低压等离子清洗系统 预算金额***rong>4***元
第一轮公告及报价******~ ***
第二轮公告及报价******~ ***(如有)
(以上海大学采招办官网首页各项目显示的倒计时截止时间***,如第一轮已完成响应提交的,无需在第二轮重复提交)
交货期:***日 交货地点:上海大学嘉***区
承办人:刘海宁 联系电话:***
采购需求联系人:殷录桥 联系电话:***956
【迅采公告特别提示】
1、所有响应供应商所提交的支撑材料均须加盖红色供应商公章(供应商公章为黑色复印件、加盖合同专用章等其他印章的均不予认可),否则视为无效材料。
2、所有响应供应商如对于已发布的迅采公告中的技术参数、服务需求、公告附件中的内容有疑问的,请在响应前联系采购需求联系人进行充分的沟通和交流。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付或完成的,采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。(适用于除家具以外的货物类与服务类项目)
3、由于家具类项目较为特殊、如本项目为家具类项目,响应供应商原则上应当在响应前主动联系采购需求联系人,充分了解项目相关需求,必要时采购需求联系人可要求潜在供应商在响应前现场实地踏勘或测量等。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付并完成安装验收的,采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。(适用于家具类项目)
4、如本迅采项目需求文件中提到公告附件的,供应商需要先在采购管理系统中进行注册,注册成功并报名本项目后,可在本项目的响应界面查询并下载其公告附件。
5、若本项目需要采购的是仪器设备的,供应商所提交的仪器设备清单中不得包含有最新版***市政府集中采购目录内商品,若有则整单将视为无效响应,将被判定为未实质性响应。
6、若本项目需要采购的是仪器设备的,所采购的仪器设备均为国产设备,无进口设备。如供应商提交响应的仪器设备包含有进口设备的,视为无效响应,将被判定为未实质性响应。(无论该设备现在何处,需要经过海关清关结算的均判定为进口设备)。
7、供应商所有提交的响应材料均须为中文文件,若原为外文说明书等佐证材料的,供应商需要同时附上中文翻译件。如供应商仅提交外文响应文件的,该指标视为未实质性响应。
8、供应商所有提交的响应文件落款日期均需要在本项目公告期内,否则整单将视为无效响应,将被判定为未实质性响应。情节严重的将被认定为提前泄露项目信息并严肃处理。(若本项目非第一次公告的,响应文件落款日期以本公告为准,不得直接使用往期落款日期的响应文件)。
9、供应商响应时的响应操作、响应说明、加盖公章的附件证明须保持完全一致。
采购清单
采购内容/设备名称参考品牌规格配置明细预算***元)采购数量计量单位总价***
低压等离子清洗系统1.控制系统:1) *便捷的PC触摸屏Windows工控系统。2) *自动/手动控制模式自由切换3) *自动控制模式下编辑存储至少50套工艺程序。实时显示工艺过程/通过图表和数字实时显示气体流量、压力、等离子清洗时间/功率等工艺参数。4) 安全功能:温度、压力、门锁互锁功能2.工***路:1) 2个MFC数字流量计(可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体)/气体命名选择。2) 另***路冲***路/1路破真空进***路。3) *工艺气体可以通过控制腔体压力或调节气体流量两种方式控制/进气时间可设定。3.压力控制:1) *配有数字式Pirani压力传感器、实时数字显示工艺舱的压力值.2) *压力互锁功能。3) *可设定压力参数(抽真空所需压力与等离子作用时工艺气体的压力同时设定)4) 真空泵最大抽气时间设定、抽真空异常报警。4.发生器:1) *频率100kHz 0-500W、功率连续可调。5.反应腔:1) 反应腔材质为铝合金。2) *腔体尺寸:W240mm D420mm H240mm、约平板电极 4600001460000
技术参数
参数名称是否需要附件证明评分等级参数说明
软件系统核心指标全自动控制系统,≥3.5英寸TFT触摸操作面板,Window 工控操作系统,软件具备自动运行模式与手动操作模式,操作便捷,可存储至少50套程序,通过局域网可以完全远程控制设备的运行,数据可以自动保存到电脑;根据工艺要求不同,可设定真空泵启动与停止、发生器的功率、反应腔体压强、气体流量、时间等参数,处理过程以曲线图实时显示;报警功能:供应气体异常报警,设置参数异常报警,显示详细报错信息,根据工艺要求设定工艺参数报警值(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
气***路核心指标双路工艺气体,流量计控制,不锈钢材质,气体流量控制精度优于±1%,气路接口适合6mm的紧锁螺母,工艺气体可以通过设定腔体压力通过控制器计算流量计自动调整进气量或设定流量计固定进气量值(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
反应腔核心指标铝合金冲压成型反应舱,腔体内置卡槽≥20层,5层电极实现PF和PG模式,尺寸≥W240xD420xH240mm,舱门为铝制边框和玻璃观察窗组成 ;(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
发生器核心指标发生器频率99-101kHz,功率0-500W无极可调;(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
真空泵核心指标双级旋片真空泵,排气速度≥15m3/H,极限真空度≤0.5Pa;(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
压力传感器及角阀非核心指标配有压力传感器,实时显示压力值;电驱动角阀,连接口径KF25;(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
升级预留非核心指标可升级单体导入模块,可以实现水工艺或者PECVD功能;(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)
可清洗样品非核心指标
资质要求
要求名称是否需要附件证明要求说明
营业执照(三证合一)请上传相关证明材料(须加盖供应商公章)
信用中国证明信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章)
商务要求
要求名称是否需要附件证明要求说明评分内容
同类业绩供应商需提供******月***日至今同类设备的销售合同,其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传,合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。
培训计划到货后30天内供应商提供面向不少于3人、不低于8小时的线上或现场培训指导,供应商响应时提供详细的培训计划。
质保期自到货并验收合格之日起,最低要求质保期3年。3年
4年
5年及以上
付款方式银行保函。合同签订后,乙方需在银行办理合同总额80%的押金担保手续,甲方收到合同总额80%的银行保函后,向乙方支付100%货款。合同总额80%的银行保函在甲方对货物验收合格并签署验收报告后退还乙方。银行保函是1张合同总价***的保函,有效期至 交货期加***日(日期)止。
交货期在签订合同后***日内交货。

三、质量保证与售后服务(货物类)

1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起,在质保期间出现故障,供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案,4小时内维修人员到场,72小时排除故障(特殊情况和不可抗拒因素除外)。在此期间,设备发生任何非误操作造成的故障和损坏,均由供应商负责免费修复,失效零件予以免费更换,更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内,停机待修时间不得超过一个月,若超过一个月,则保修期延长待机时间的3倍。同时,提供软件免费升级。

2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训,调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训:参与培训人员3~5人;内容:设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等,使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。***专职技术人员,***专职技术人员提供培训,否则用户方将拒绝接受。

3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。

4、 定期维护,终身保修,只收取零部件成本费。

四、供应商须知

1、供应商须先完成并通过供应商注册,方可进行响应。注册网址:http***.cn/

2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历,并有良好的声誉,且能提供良好的技术支持。

3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价***方不接受不确定报价***

4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务,并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。

5、响应报价***格或在评审后确定的价***行过程中是固定不变的(除非采购人对设备提出新的要求)不得以任何理由予以变更。

6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。

7、若成交供应商的报价***目的经费预算,采购人有取消本次采购的权利。

8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应,提交证明和支撑材料(加盖单位***),无证明和支撑材料视为没有响应。

9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致,如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。

上海大学

2022-11-17

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