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【北京,】冷溅射仪（清设比选20230574号）采购公告

发布时间：2023-05-29

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标签：采购公告北京冷溅射仪（清设比选20230574号）采购公告招标信息招标采购

发布时间	2023-05-29	截止日期	立即查看
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招投标详情

冷溅射仪（清设比选***号）采购公告

发布时间：***阅读量：32 次

最高限价***d colspan="3">￥ 170,000.00未公布
采购项目名称	冷溅射仪	采购项目编号*bind="enquiry.code" class="ng-binding">清设比选*号
公告开始时间	***	公告截止时间***	***
对外联系人	本项目不接受咨询	联系电话	本项目不接受咨询
签约时间要求	成交后5个工作日内* (如不按时签订合同，采购单位)**	交货时间要求	签订合同后84个工作日内
采购单位	清华大学
国内合同付款方式	合同签订后70%，验收合格后30%
交货地址	*市清华大学*楼2-402
供应商特殊资质要求	* 无*

***采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
冷溅射仪	1	台

品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价***	￥ 170,000.00
技术参数及配置要求	-6英寸（直径）x 6英寸（高）Pyrex圆柱体 -机械泵，两级旋转叶片，双电压，2立方英尺/分，带过滤器 -排放阀：电动阀 -Inficon PSG 500皮拉尼计量变送器（NW16翻边；主腔）。 -与系统过程控制器连接 -2.0英寸直径，溅射源 -直流能力钳制目标的兼容性 -与系统过程控制器连接 -带针阀控制的气体入口和正向截止阀 -2英寸蚀刻组件，有可调高度的规定与系统过程控制器连接 -基片快门 -Inficon SQM-160 沉积监控器和英寸冷却抽屉英寸晶体传感器，非水冷（OPTION) -机械泵。干式涡旋3立方英尺/分（OPTION）
质保期	12个月

清华大学

***

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