项目名称：北京怀柔实验室 ***第一批科研设备采购项目（第二次）
招标项目编号***/01
招标范围：产品名称：电子束蒸发台 数量：4台 简要技术规格： 电子束蒸发台是一种半导体芯片加工设备，具体规格如下： 1）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积大于等于10微米厚度金属铝； 2）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积大于等于10微米厚度金属铝，硅片表面有光刻胶； 3）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积金属Ti、Ni厚度50-500纳米，Ag厚度大于等于10微米； 4）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积金属Ag厚度大于等于10微米。
招标机构：***
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：***
公示开始时间：***
评标公示截止时间***：***
中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别***区
1	***	爱发科真空技术(苏州)***	中国