品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

一、参数分析仪主机： 1台。
1、可支持9个功能模块插槽。
2、提供软件包: 软件具有450多个应用测试库。用户界面提供触滑或点击控制功能，能为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。
3、***元：提供双三同轴输出端接口、5路接线柱。最大电流：使用双三同轴连接时为2.6A；使***路接线柱时为9.5A。
4、15.6英寸触摸屏高清显示器，分辨率1920x1080。
5、接口：USB,VGA,HDMI,RS-232,以太网。
6、内置测量视频：测试视频由全球应用工程师提供，分为4种语言，可缩短学习周期。
7、1条236-ILC-3互锁电缆3m。
8、 提供参数分析仪与测试平台的连接电缆和接头。
9、主***元、模块需组合为一套整机使用。
二、中功***元：3个。
1、功率：2.1W。
2、电流测量量程：±100nA~±100mA。
3、电流测量最小分辨率：100fA。
4、电压测量量程：±200mV~±210V。
5、电压测量最小分辨率：0.2 mV。
6、电流源量程：±100nA~±100mA。
7、电流源分辨率：5pA。
8、电压源量程：±200mV~±210V。
9、电压源最小分辨率：5μV。
10、输入阻抗：>1013Ω。
11、输入泄漏电流：<30 pA。
12、测量接口：每个SMU上三个迷你三同轴(母头)接口，用于Force、Sense 和Sense Lo，一个定制15针D-Sub(母头)接口。
三、远程前端放大器模块：2个。
1、功能：可扩展任意SMU型号的电流范围，通过在任一SMU型号中有效增加五个电流范围，分辨率低至0.01fA。
2、输入接口：一个定制接口，15 针，D-Sub (公头)。
3、输出接口：两个三同轴接口(母头)。
四、C-V多***元：1个。
1、AC阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)。
2、测量参数:CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta。
3、频率范围:1kHz ~ 10MHz。
4、源频率精度:±0.1%。
5、信号输出电平范围：10 mVrms ~ 100mVrms。
6、分辨率:1mVrms。
7、输出阻抗:100Ω。
8、DC 电压偏置范围:±30V(60V差分)。
9、DC 电压偏置分辨率:1.0mV。
10、最大DC电流:10mA。
11、扫描参数 ：DC偏置电压, 频率, AC电压。
12、扫描类型: 线性, 自定义。
13、扫描方向:向上扫描, 向下扫描。
14、测量点数: 4096。
15、输出接口: 四个SMA接口(母头)。

仪器配置：参数分析仪主机1台，中功***元3个，远程前端放大器模块2个，C-V多***元1个。

质保期

质保期：设备验收合格后1年内，耗材和人为因素可以除外。

售后要求

1.质保期内设备的零配件因质量问题出现故障，进行免费维修或者更换。设备报修后24小时内给出解决方案，72小时内处理好故障。 2.投标商售前售后必须能够用英文书面口头无障碍地和项目负责人进行该项目相关的沟通。