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【广东,深圳市】深圳国际量子研究院电子束扫描系统采购项目意向公开

发布时间：2023-09-11

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标签：采购公告广东深圳国际量子研究院电子束扫描系统采购项目意向公开深圳国际量子研究院招标信息招标采购

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招投标详情

***电子束扫描系统采购项目意向公开

采购单位:	***
项目名称:	电子束扫描系统采购项目
预算金额***/td>	1,300,000.000
采购品目:	其他机械设备
采购需求概况:	电子束曝光机研制项目拟采购一套电子束扫描系统，对高速高稳定性电子束偏转控制、图形矢量扫描信号生成与调控等关键技术进行攻关，同时用于搭建电子束光刻设备测试平台。主要技术参数包括：电子枪类型：肖特基场发射；加速电压：50KV；束闸控制器：1个；透镜组：5级；物镜2组，偏转器：2组；最大可装载样品4英寸以及配有镜筒和真空样品室的主机台1个等。拟采购的电子束扫描系统主要由高真空腔体、样品台、电子枪、镜筒、高压电源、主机等部分构成。
预计采购时间:	2023-9
联系人:	刘老师
联系电话:	***
备注:	无

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