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【江苏,南京市】南京大学2023年政府采购意向公开（第37批）

发布时间：2023-09-28

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招投标详情

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将******政府采购意向公开（第37批）政府采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	意向编号***dth:15%;" nowrap>采购品目	采购需求概况	预算金额***/td>	预计采购日期	备注
1	半自动真空探针台及测试系统	***0	A*** 半导体器件参数测量仪	**拟采购半自动真空探针台及测试系统一套，由探针台主机、图像显微装置、真空腔室、电学测试仪器等部件组成，用于测试8英寸及以下晶圆、单粒半导体器件和纳米器件的电学综合性能。主要参数要求如下：1.系统满足8英寸射频、低噪声直流以及真空环境要求下的晶圆自动化测试，温度范围-60℃-200℃。2.系统可提供最低110E-5 mBar真空度测试环境。3.配置射频探针座两套及万向悬架馈通套杆组件；其中针座放置在真空腔体内，可在真空腔体外操作调节XYZ行程，XYZ移动行程≥12mm12mm8mm。4.配置肆套直流针座及万向悬架馈通套杆；其中针座放置在真空腔体内，可在真空腔体外操作调节XYZ行程，XYZ行程≥12mm12mm8mm。5.配置探针台控制软件。6.设备质保期：壹年。	950	******月

本次公开的采购意向是本单位***，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

***招标办公室

******月***日

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