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【,北京,】磁控溅射系统（清设比选20231402号）采购公告

发布时间：2023-10-18

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标签：采购公告磁控溅射系统（清设比选20231402号）采购公告招标信息招标采购

发布时间	2023-10-18	截止日期	立即查看
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招投标详情

磁控溅射系统（清设比选***号）采购公告

最高限价***d colspan="3">￥ 395,000.00未公布
采购项目名称	磁控溅射系统	采购项目编号*bind="enquiry.code" class="ng-binding">清设比选*号
公告开始时间	***	公告截止时间***	***
对外联系人	本项目不接受咨询咨***道已	联系电话	本项目不接受咨询咨***道已
签约时间要求	成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位***)	交货时间要求	签订合同后50个工作日内
采购单位	清华大学
国内合同付款方式	合同签订后60%，验收合格后40%
交货地址	***市清华大学
供应商特殊资质要求	无

采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
磁控溅射系统	1	套

品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价***	￥ 395,000.00
技术参数及配置要求	1. 强磁靶：1 套 2. 永磁靶：2 套 3. 尺寸：2 英寸 4. 向上溅射 5. 可实现倾斜共溅射 6. 靶基距可调：90mm-130mm 7. 直流溅射电源：2套 8. 射频溅射电源：1套 9. 样品台兼容4英寸及以下 10. 极限真空度 ≤6.6x10-6Pa 11. 气体流量控制器（1）氩气：0-200SCCM（准确度：±1.5%F.S）（2）氮气：0-50SCCM（准确度：±1.5%F.S）（3）氧气：0-50SCCM（准确度：±1.5%F.S）
质保期	12个月

清华大学

***

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