各供应商：

  东华大学采购与招投标管理中心受用户委托，以校内密封比价***行东华大学小型台式无掩膜光刻机项目采购。

 一、项目内容：

1.项目名称:小型台式无掩膜光刻机

2.品牌：TUOTUO

3.型号：PL-3D litho S

4.项目数量: 1 （台）

5.项目总预算: 470,000.00(报价***pan lang="EN-US">,报价***价***n lang="EN-US">)

二、项目总体要求：

 1、项目总体技术要求

1.1光刻精度：

至少支持三个光刻镜头：光刻镜头1：精度≤10 µm， DOF≥ 600 µm；光刻镜头2： 精度≤5 µm ，DOF≥ 125 µm；光刻镜头3：精度≤2 µm， DOF≥18 µm；

1.2曝光波长：385 nm；

1.3光刻速度：

a)  光刻镜头1：≥950 mm²/min；

b)  光刻镜头2：≥230 mm²/min；

c)  光刻镜头3：≥25 mm²/min；

1.4主动对焦功能；

1.5最大胶厚：≥350 µm；

1.6显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性；

1.7样品厚度：≥10 mm；

1.8样品尺寸：≥100 mm * 100 mm；

1.9设备软件：支持阵列光刻、尺寸测量、进度显示；

1.10画图软件：支持阵列画图、套刻画图；

 2、交货安装地点：

安装至松***区复合材料协同创***楼4楼B409-B411室客户指定地点（东华大学校园内）

 3、交货期

  合同签订生效后50天

 4、设备安装调试及验收

设备到货后，由供应商到现场对设备进行开箱、清点并安装调试。

  5、售后服务

    设备质保期从设备验收合格后采购人签字认可之日起计算，质保期为1年，报价***售后服务。

 6.付款方式：

    合同签订后，预付50%货款，货到验收合格后凭全额发票付清尾款。

***

三、报价***间：

2023年10月28日（星期六）上午7：00，为最终报价***报价***单位***，密封处加盖单位***，未按时送达视为自动放弃。

四、送达或邮寄地址：

    ***市***区人***路2999号***楼123房间 

       徐忠文收  ***121，

    只收顺丰快递。(请勿以闪送、同城急送等的方式交付文件，快递外包装上请标注报价***span lang="EN-US">)

五、本次采购的相关要求：

受邀服务商在报价***供相关资格证明材料和无不良信用记录的相关证明（相应网页截图）。

相关资格证明材料指：营业执照、组织机构***、税务登记证（三证合一的服务商仅需提供“企业法人营业执照副本”）复印件、法人代表授权委托书复印件、被授权人身份证复印件、以及具有与本项目相适应的经营范围。

不良信用记录指：服务商在“信用中国”网站（www***）被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或在中国政府采购网（www***）被列入政府采购严重违法失信行为记录名单。

以上资料均需加盖公章，提供不全者将可能导致其报价***/span>

 如对本项目内容有任何问题，可咨询：

      材料科学与工程学院

        孙老师，电话：***929

 本次报价***：***    电话：***

*** *********      2023年10月24日