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【,北京,海淀区】北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统采购公告
发布时间 2023-11-03 截止日期 立即查看
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项目地址 立即查看 采购业主 立即查看
采购项目编号 立即查看 采购人 立即查看
预计采购时间 立即查看 预算金额 立即查看

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招投标详情

1.   采购货物有关信息

1、采购货物相关信息:

1)货物名称:工艺气体分配控制系统

2)技术指标:

序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

工艺气体分配控制系统


硬件和性能参数

1. 匹配LPCVD/RPS/RTP/SPTS/真空互联系统五台设备的工艺气体的分配和控制系统。

2. LPCVD设备配置6路O2/1NH3/1Ar工艺气体的分配和控制系统,配置氧气XCD侦测探头。

3. RPS设备配置O2/SF6/CF41路工艺气体的分配和控制系统。

4. RTP配置O2/Ar/He***路工艺气体的分配和控制系统。

5. SPTS配置SF6/C4F8/PN21路工艺气体的分配和控制系统。

6. 真空互联系统配置Ar/O2/He***路工艺气体的分配和控制系统,1路PN2工艺气体的分配和控制系统。

7. 配置的系统包***道、阀门、压力表、接口、减压阀,配置的系统需符合半导体工艺气体相应纯度要求。

8. 配置的系统需要经过第三方的五项测试安全质量检测,能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。


2

售后服务


售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位******、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应,24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理(若用户提出新的要求,在招标文件***)。

3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价***和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理,合理收取维修费。

4、质保期1年。

5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。


3)数量:

序号

产品

数量/单位

1

工艺气体分配系统

5

4)交货期:合同签订后60天内

5)交货地点:北京航空航天大学微电子学院

6)是否接受进口产品:是

2、采购预算(最高限价***>49.5

3、参选单位***:

1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;  

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

3)本项目不接受联合体响应;

4)本项目不允许转包、分包;

5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间***:

报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间202311xx日***时。

5、竞价***式:

时间202311xx日;方式:鉴于疫情影响,采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价***材料:

11xx18:00前,参选供应商需将正式书面报价***料(均需加盖单位***)邮寄至以下地址:

地址:***市***区北京航空航天大***区第一馆

常晓阳老师收,手机号:***270

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

常晓阳老师,邮箱:changxiaoyang@buaa.edu.cn

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):


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