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【,北京,】2英寸分子束外延装置（清设比选20231748号）采购公告

发布时间：2023-11-15

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标签：采购公告 2英寸分子束外延装置（清设比选20231748号）采购公告招标信息招标采购

发布时间	2023-11-15	截止日期	立即查看
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招投标详情

2英寸分子束外延装置（清设比选***号）采购公告

最高限价***d colspan="3"> 未公布
采购项目名称	2英寸分子束外延装置	采购项目编号*bind="enquiry.code" class="ng-binding">清设比选*号
公告开始时间	***	公告截止时间***	***
对外联系人	本项目不接受咨询咨***道已	联系电话	本项目不接受咨询咨***道已
签约时间要求	成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位***)	交货时间要求	签订合同后7个工作日内
采购单位	清华大学
国内合同付款方式	货到付款100%
交货地址	***市清华大学
供应商特殊资质要求	无

采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
2英寸分子束外延装置	1	套

品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价***	￥
技术参数及配置要求	配置清单：（一）分子束外延生长室真空优于2.0 × 10-4 Pa，由如下部分组成: 1. 1套真空腔体（不锈钢304，外径210mm，电化学抛光），配有观察窗、观察窗挡板、盲板等 2. 1套电离真空规和低真空规，配有真空规控制器及线缆 3. 1套6*分子泵（抽速600L/s），配有控制器及线缆 4. 1个CF150手动阀(连接分子泵与生长室之间) （二）样品加热台定制样品加热台，可进行Z轴移动和绕Z轴连续转动，由如下部分组成: 1. 样品加热台：采用PBN加热器，最高加热温度不低于800℃，温度稳定性优于±0.1℃；配有PID数字反馈温控器与线缆。可以在旋转的同时进行加热，包含样品架卡座及旋转机构。旋转机构*，由手柄或软件控制样品连续旋转。 2. Z轴位移台A：用于实现样品在竖直方向的移动，驱动方式为手动，最大移动范围是±50mm，移动精度为1mm，接口法兰为CF100。 3. 样品挡板：手动或者气动控制挡板，用于遮挡或者露出样品表面。 4. 3个样品架：用于固定定制样品。（三）快速进样室真空优于2.0 Pa，由如下部分组成: 1. 1套真空腔体（不锈钢304，外径152mm，电化学抛光），配有盲板等 2. 1个放气阀（开腔时高纯氮气入口） 3. 1根长传样杆用于在快速进样室与生长室之间进行样品传送，配有传样抓手等。 4. 1个快进门（样品进出真空腔的入口，CF100法兰） 5. 1套冷阴极真空规和低真空规，配有真空规控制器及线缆 6. 1个CF63手动阀(连接快速进样室与生长室之间) （四）附件 1. 1套CL型高温单坩埚程控蒸发源 1）温度范围：300-1200℃ 2）温度稳定性：±0.1℃ 3）坩埚内尺寸：φ12mm x 89mm 4）挡板：手动 5）真空内长度：200mm（可定制） 6）内置水冷套：可选配过温保护 7）安装法兰：DN40CF 8）最高烘烤温度：200℃ 9）温控器：欧陆表控制的数字反馈PID控温 2. 高刚性铝合金台架，配有控制器固定面板、气管固定配件等。
质保期	12个月

清华大学

***

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