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【,北京,】纳米压印设备（清设比选20231957号）采购公告

发布时间：2023-12-01

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标签：采购公告北京纳米压印设备（清设比选20231957号）采购公告招标信息招标采购

发布时间	2023-12-01	截止日期	立即查看
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招投标详情

纳米压印设备（清设比选***号）采购公告

最高限价***d colspan="3"> 未公布
采购项目名称	纳米压印设备	采购项目编号*bind="enquiry.code" class="ng-binding">清设比选*号
公告开始时间	***	公告截止时间***	***
对外联系人	耿祥顺咨***道已	联系电话	*132咨*道已
签约时间要求	成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位***)	交货时间要求	签订合同后15个工作日内
采购单位	清华大学
国内合同付款方式	合同签订后50%，验收合格后50%
交货地址	*市清华大学集*路学院
供应商特殊资质要求	无

采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
纳米压印设备	1	台

品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价***	￥
技术参数及配置要求	1、支持母版和压印基底尺寸：最大4英寸直径晶圆，兼容3英寸、2英寸直径晶圆。 2、压印过程中实现全自动压印和脱模过程，无需手动脱模。 3、工作原理：采用高精度辊轮系统作为压印动力，实现Plate to Plate的渐近式压印。压印压力可在 10000~300000 Pa 之间通过软件设置，用精密比例阀控制压力。 4、压印压力：压印压力可在 10000-500000 Pa 之间通过软件设置，精密比例阀控制压力。 *元：光源波长365nm，最大功率可达1000 mW/cm2，曝光均匀性≥85% 6、基底加热系统：软件控温，加热温度室温至 70°C，温度均匀性：±3%，温度设置精度：±1°C 7、转印精度误差：小于±5% 8、残余层厚度：可达20 nm及以下。测试方法为连续压印10片，选取第1、5、10片压印片，片内测试任意3点。 9、压印线宽：压印结构精度最小可达10 nm，验收过程中由厂家证明可压印50 nm结构精度。 10、压印结构深宽比：7.5:1。由厂家提供高深宽比模具压印，模具直径至少为6英寸，上面均匀分布9个区域，**区域面积大小为100 μm×100 μm，该区域中包含线宽为120~140 nm的光栅结构，同时结构深度1 μm、周期为1.12~1.14 μm，压印后深宽比为7.5:1。纳米压印机：1台；随机附件：工作模具框 1个。压印线宽：压印结构精度最小可达10nm，验收过程中由厂家证明可压印50nm结构精度压印结构深宽比：7.5：1 残余层厚度：可达20nm及以下。测试方法为连续压印10片，选取第1、5、10片压印片，片内测试任意3点曝光均匀性：≥85% 基底台盘加热均匀性：±3% 动力及水电气等要求：电压：AC 220 V电源，50 Hz；功率：4.5 KW 压缩空气（CDA）：压力≥0.7 MPa，6 mm快插接头真空（Vacuum）：≥-80 KPa，6 mm快插接头
质保期	12个月

清华大学

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