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[招设2024A00179]上海交通大学原子层沉积设备采购项目公开招标公告

发布时间： 2024-11-24

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采购公告详情

***原子层沉积设备采购项目公开招标公告项目概况设备用途：原子层沉积设备因其精确控制薄膜厚度、良好的三维覆盖能力、优异的保形性和均匀性等特点，用以在半导体工艺中以足够的效率沉积纳米尺度的高质量氧化物和氮化物。一、项目基本情况项目编号***理内部编号******原子层沉积设备采购项目预算金额******元（大写：人民币***元整）最高限价****元（大写：人民币***元整）采购需求：序号货物名称***1原子层沉积设备1 套 1.主要技术指标★1）可兼容8英寸及以下基片，可用于SiO2、Al2O3等氧化物和TiN等氮化物薄膜沉积。▲2）片内膜厚均匀性≤2%，片间膜厚均匀性≤1%具体内容详见招标文件***—采购需求合同签订后6 个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格 ***用户指定地点***：合同签订后 6 个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格。本项目(不接受)联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

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标签：上海交通大学招标信息招标采购

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