项目名称：晶圆湿制程设备招标项目
项目编号***
招标范围：序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 全自动显影机 1套 晶圆晶舟:12” 晶舟 目的:本设备使用12”专用晶舟,提供显影制程用 2 全自动金蚀刻机 1套 晶圆晶舟:12” 晶舟 目的:本设备使用12”专用晶舟,提供金蚀刻制程用 3 全自动钛钨蚀刻机 1套 晶圆晶舟:12” 晶舟 目的:本设备使用12”专用晶舟,提供钛钨蚀刻制程用 4 全自动光刻胶清洗机 1套 晶圆晶舟:12” 晶舟 目的:本设备使用12”专用晶舟,提供光刻胶清洗制程用 5 全自动晶圆清洗机 1套 晶圆晶舟:12” 晶舟 目的:本设备使用12”专用晶舟,提供晶圆清洗制程用 6 手动零件清洗机 1套 目的:本设备提供凸块制程零件清洗制程用 7 供酸设备 1套 药水种类:显影液 8 供酸设备 1套 药水种类:双氧水 9 供酸设备 1套 药水种类:去光刻胶液 10 供酸设备 1套 药水种类:金蚀刻液
招标机构：***
招标人：***
开标时间：***
公示时间：******
中标结果公告时间：***
中标人：***
制造商：***
制造商国家***区：中国
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