中电鹏程智能装备有限公司(专利信息)EMS与半导体产业关键装备与成套系统产业化一期项目

中电鹏程智能装备有限公司(专利信息)公示信息

项目代码	区域
2104-331122-07-02-143281	缙云县

审批事项公示信息
Id	公司名称	专利id	名称	申请号
4592e7f5bc8e0f3658c8165110090088	中电鹏程智能装备有限公司	7abd9b8a3d8d248d11d84ba97b86601d	针对半导体产品的擦拭清洗装置及其清洗方法	CN202110042692.6
申请日	公开（公告）号	公开（公告）日期	发明人	申请人
2021-01-13 00:00:00	CN112366133A	2021-02-12 00:00:00	杜小兵;郭洪江;赵瑞珂	中电鹏程智能装备有限公司
代理机构	代理人	IPC分类号	IPC描述	类型名称
南京睿之博知识产权代理有限公司	刘菊兰	H01L21/02;H01L21/67	["基本电气元件"]	发明公布
法律状态详情	法律状态日期	审查官	助理审查官	专利图片
公开	2021-02-12 00:00:00
其他参考文献	摘要	法律状态历史记录	文档类型	引用
	一种针对半导体产品的擦拭清洗装置及其清洗方法，包括：安装在机台上的产品入料单元，产品出料单元，推料单......	[{"content":"公开","desc":"公开","legalStatus":"1","legalStatusDate":1613059200}]

中电鹏程智能装备有限公司(专利信息)EMS与半导体产业关键装备与成套系统产业化一期项目审批结果由中项网（www.ccpc360.com）2021-11-25更新发布！

中电鹏程智能装备有限公司，专利名称：针对半导体产品的擦拭清洗装置及其清洗方法，申请号：CN202110042692.6，公开（公告）号：CN112366133A，发明人：杜小兵;郭洪江;赵瑞珂，申请人：中电鹏程智能装备有限公司，代理机构：南京睿之博知识产权代理有限公司，代理人：刘菊兰，IPC描述：["基本电气元件"]，类型名称：发明公布，法律状态详情：公开，专利摘要：；其中中电鹏程智能装备有限公司(专利信息)EMS与半导体产业关键装备与成套系统产业化一期项目的审批结果为：批复。

中电鹏程智能装备有限公司(专利信息)EMS与半导体产业关键装备与成套系统产业化一期项目该项目具体的审批文号为：宁经管委行审备〔2021〕255号。

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