项目名称：上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪国际招标公告

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更新时间	2024-06-20	招标单位	我要查看
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招标产品产品名称采购量产品描述产品文件图片等离子增强型化学气相沉积成膜仪 1批供应商要求发票要求：不用发票（备注：专票资质可以报普票要求）供应商性质：注册资金：无特殊要求经营地址：无特殊要求商务条款投标要求：收获地： >上海交货期： 0天详细说明本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件项目概况:上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪国际招标资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件 2、招标内容招标项目编号:0705-244006001094 招标项目名称:上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备): 序号产品名称数量简要技术规格备注 1 等离子增强型化学气相沉积成膜仪 1套 1)SiO2的沉积速率：≥40 nm/min；SiO2沉积的片间厚度重复性：≤±3%；SiO2沉积的折射率片内均匀性：≤±0.01。 2) SiO2沉积的片内厚度均匀性（去边5mm）：8英寸范围≤±4%；6英寸范围≤±3%；4英寸范围≤±2%。 3) SiNx的沉积速率：≥10 nm/min；SiNx 沉积的片内厚度均匀性（去边5mm）：8英寸范围≤±4%；6英寸范围≤±3%；4英寸范围≤±2%，SiNx沉积的片间厚度重复性：≤±3%；SiNx沉积的折射率片内均匀性：≤±0.05。 4)其他技术要求详见第八章第二部分《技术规格》。合同签订后6个月内交货

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