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【华东新建】上海至嘉半导体CICEM大宗气站制氮装置及配套设施项目
发布时间 所属行业 项目性质 地区
2021-09-09 石油化学工程 新建 上海
大宗气站制氮装置及配套设施:
1、新建2套制氮装置(8000Nm3/h*2)和2套高纯氧整合装置(140Nm3/h*2),供应氮气及高纯氧气。规模:氮气16000Nm3/h;氧气280Nm3/h;
2、新建1套压缩气体供气系统,供应压缩空气和仪表气。规模:压缩空气(CDA)14000Nm3/h;高纯压缩空气(XCDA)10000Nm3/h;
3、其余氢、氧、氩、氦、二氧化碳等气体采用液体或气体外购后厂内储罐储存,通过调压及纯化后管道输送给创新中心供气。
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