工程总用地面积约63627平方米，建设总建筑面积约为153591平方米，其中地上建筑面积约为139523平方米，地下建筑面积约为14068平方米。主要由1#综合楼、2#FAB厂房，3#模组厂房，4#垃圾房、5#动力厂房，6#仓库，7#乙类库，8#甲类库、9#氢气站，10#变电站土建、11#非机动车棚、12#门卫、13#门卫二、14#连廊一、15#连廊二、16#连廊三、17#地下室、18#大宗气体站、19#应急事故池及道路、景观绿化、给排水等配套工程。项目具体包括建设6寸晶圆制造项目及汽车SIC模块制造生产和研发基地。

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