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【湖南,长沙市】小型溅射仪
发布时间 2024-08-10 截止日期 立即查看
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招标公告详情

中南大学 - 竞价***B***) 发布时间:***截止时间***:***基本信息: 申购主题: 小型溅射仪 报价***产含税 发票类型: 增值税专用发票 付款方式: 货到验收合格后付款 送货时间: 合同签订后7天内送达 安装要求: 免费上门安装(含材料费) 预算: 人民币 我要报价***: ***省/***市/***区/ 供应商资质: 备注说明: 采购明细: 序号 设备名称 数量/单位 预算单价***号 规格参数 质保及售后服务 附件 1 小型溅射仪 1(台) 郑州科探 KT-Z1650PVD 1. 控制方式:7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 2. 溅射电源:直流溅射电源 3. 镀膜功能:0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 4. 最大功率:≤1000W 5. 最大输出电压电流:电压≤1000V 电流≤1A 6. 真空度:机械泵 ≤5Pa(***分钟) 7. 射频真空:≤10Pa 8. 挡板类型:电控 9. 真空腔室:石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm 10. 样品台:可旋转φ72 (最大可安装φ70基底) 11. 样品台转速:8转/分钟 12. 样品溅射源调节距离:40-105mm 13 真空测量:皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) 14. 预留真空接口:KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 注:发货包含:溅射镀膜仪+机械泵+膜厚监测仪+水冷机,各1台 保修期:1年。保修期之外,按行业标准提供服务

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