大尺寸薄膜制备系统-中项网

【广东,深圳市】大尺寸薄膜制备系统

发布时间： 2024-10-28

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深圳大学 - 竞价***B***) 发布时间：***截止时间***：***基本信息：申购主题：大尺寸薄膜制备系统报价***产含税发票类型：增值税专用发票付款方式：货到验收合格后付款送货时间：合同签订后10天内送达安装要求：免费上门安装（含材料费）预算： 190,000.00 人民币我要报价***： ***省/***市/***区/ 供应商资质：备注说明：采购明细：序号设备名称数量/单位预算单价***号规格参数质保及售后服务附件 1 大尺寸薄膜制备系统 1 190000 鹏程真空 PCZF350 一、设备功能该系统为单室D型前开门结构四源有机无机热蒸发镀膜系统，主要用来生长金属薄膜与有机薄膜的制备工作，系统的具体需求如下： 1、系统采用单室D型前开门结构。 2、样品台可以施加掩模。 3、样品尺寸：6英寸。 4、生长室预留4个可采用国产石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度控制，配备4个石英晶振探头。 5、生长室放置3组热阻蒸发舟，配备蒸发电源3套，可实现单源蒸发、双源蒸发、三源共蒸发、与有机束源炉共蒸发。 6、采用束源炉式加热蒸发源1套位于真空室中心，单只石英坩埚容量：≥10毫升。 7、生长室真空获得系统采用国产分子泵（FF150 700L/S）+机械泵（9L/S）进行抽气； 8、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用国内最先进电化学抛光钝化处理工艺。二、系统的主要组成及技术性能生长室极限真空度≤4.0×10-5 Pa；抽速：***分钟可达到7×10-4 Pa 1、真空室腔体组件******--------1套真空室腔体组件尺寸：D型前开门结构真空室，尺寸约为Φ300×H350，上法兰为样品台对接结构，真空室设计采用超高真空设计，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用喷玻璃丸+化学电解抛光钝化处理新工艺。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1.1、真空室上封头RF200法兰接口：1个（接样品组件）； 1.2、LF150法兰接口：1个（分子泵接口）； 1.3、CF35法兰接口：4个（接高真空电离规管、膜厚仪、旁抽、烘烤照明等）； 1.4、LF16法兰接口：2个（进***路、充气阀、1个备用）； 1.5、KF16法兰接口：1个(接低真空电阻规管)； 1.6、腔体上有1个RF100带玻璃挡板观察窗。 1.7、热阻蒸发电极接口：3套 1.8、束源炉蒸发法兰接口：1套 1.9、蒸发源挡板接口：4个 2、热阻蒸发组件电源******---------3套 2.1、热蒸发电极组3套； 2.2、热阻蒸发电源3台：蒸发温度可以室温～2300°C（真空状态）最大输出功率2000w（电压10V；电流200A）PLC实时控制,电流调整精度0.1A；蒸发器根据蒸发材料配套（钨、钼舟共4个）；蒸发源之间设有防污染干扰装置。个电源分别独立操作，可以实现单源蒸发、双源蒸发、三源共蒸发、与有机束源炉共蒸发。 2.3、蒸发源挡板：4套气动控制。 3、有机蒸发源：******---------1套 3.1、采用束源炉式加热蒸发结构，单只石英坩埚容量：≥10毫升；备用石英坩埚10只； 3.2、1套温度控制系统采用程序控温表闭环反馈，使用日本进口温控表。温度范围：室温--600℃，连续可调, 带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃ 3.3、有机束源炉蒸发源挡板，气动控制： 1个； 3.4、蒸发电源：1套 4、样品台（加热）******------------1套 4.1 基片尺寸：6英寸基片1片；（根据老师所提供图纸加工） 4.2基片台电机驱动磁力耦合密封驱动，转速0～30转/分可调；蒸发距离150mm-300mm升降可调。 4.3样品温度控制系统采用红外灯辐射加热。温度控制采用程序段控温表闭环反馈，使用日本进口温控表。温度范围：室温--600℃，连续可调, 带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃ 5、真空本底抽气与真空测量******----1套 5.1、复合分子泵： 700L/S分子泵1套 5.2、机械泵与电磁阀：抽速9升∕秒 1套 5.3、CF150气动闸板阀：1套 5.3、分子泵与机械泵连接的金属软管：1套 5.4、全量程复合数显真空计： 1套电离规：（KF25法兰） 1.0x10-5Pa ---1.0x10-5Pa 1只 5.5、气动放气阀及气动充气阀： 2只，用于真空室解除及真空充气使用。 5.8、DN40电磁截止阀1个 6、真空室照明装置******---------1套 7、石英晶体振荡膜厚监控仪(MHY485-4CH/4路水冷)***---1套 7.1、监测膜厚显示范围：0~9999.9Å； 7.2、厚度分辨率：1Å； 7.3、速率显示分辨率：0~9999.9 Å； 7.4、控制精度：1 Å； 7.5、监测时间显示范围：***分~99小时； 8、控制系统***---- 1套 8.1、系统由工控机（15寸触摸屏）和PLC实现对整个系统的控制，有自动和手动控制两种功能，除取放样品手动实现外，其它操作过程全部在触摸屏上实现，提供真空系统、蒸发工艺设置、充放气系统等人机操作界面；在工控机上可通过菜单配方参数设置方式实现对程序工艺过程和设备参数的设置。 9、冷却水循环一体机 1P******---- 1台； 10、无油静音气泵 1200W******------1台； 11、真空室预留检漏口和预留备用口若干******套验收合格后3年内乙方负责保修，甲方因使用者自身原因造成的损坏要核收成本费，3年后乙方仍负责维修并核收成本费。

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