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深硅刻蚀机公告(1)

发布时间： 2024-11-22

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招标公告详情

深硅刻蚀机公告(1) 中国国际招标网发布日期：2024-11-21 深硅刻蚀机项目已具备招标条件。资金来源自筹资金，出资比例共为100%。中科信工程咨询（北京）***（招标代理机构）***（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。 1. 招标范围 1.1 货物名称：深硅刻蚀机 1.2 招标编号***： 1)设备配有1套深硅刻蚀工艺腔室，主要包括主机、加热系统、冷却系统、真空系统、静电吸盘、手臂传输腔室、射频源等; 2)适用工艺类型:硅-玻璃键合片和硅片刻蚀； 3)适用晶圆尺寸:4英寸晶圆; 4)夹具类型:4英寸静电吸盘及传输手臂; 5)硅-玻璃键合片(硅结构有背腔)，在暴露面积≥30%时，刻蚀后表面干净，无“掉渣”及“长草”现象; 6)工控系统基于 Windows7 及以下版本的操作系统； 7) 硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm。 1.4 数量：1台 1.5 交货期：合同签订后12个月内 1.6 项目现场：***。 2. 对投标人的资格要求 2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。 2.2本次招标接受代理商投标，代理商应获得制造商的有效授权，须提供正本（制造商的有效授权书包括制造商直接开具的；***开具的；或经制造商授权并允许其再授权的单位***）。 2.3本次招标不接受联合体投标。 2.4投标人必须向招标代理机构******；接受委托参与项目前期咨询和招标文件***。 3. 招标文件*** 3.1凡有意参加投标者，请于******月***日至******月***日***时(北京时间)，登陆中招联合招标采购平台。（网址：www***,注册操作咨询电话***）购买并下载招标文件，现场不予受理。 3.2 招标文件****元，售后不退。 4. 投标文件的递交 4.1投标文件递交的截止时间***（投标截止时间***，下同）为******月***日***时***分，地点******市***区金***路与采***路交叉口东南角88***楼一层会议室。 4.2逾期送达的、未送达指定地点******，招标人将予以拒收。 5. 开标开标时间同投标文件递交的截止时间***，开标地点***。 6. 发布公告的媒介本次招标公告同时在中招联合招标采购平台、中国招标投标公共服务平台和中国国际招标网、中国兵器电子招标投标交易平台发布。 7.联系方式招标人名称：*** 地址：***市***路***街1号联系人：*** 电话：***935 招标代理机构***：中科信工程咨询（北京）*** 地址：***市***区金***路与采***路***路口东南角88***楼六层项目负责人：杨经理电话：*** 售卖联系人：*** 电话：*** 传真：*** 电子邮箱：zhaobiaobu@zonkex.com ******月***日

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