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匀胶旋涂仪

发布时间： 2024-11-29

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待竞价****6048） > > 返回申购单主题：匀胶旋涂仪申购单位：电子与信息工程学院（微电子学院）报价***内含税价***：人民币公示时间：*** 申购备注：商品名称品牌/厂商型号数量售后服务匀胶旋涂仪 Mycro Technologies Co.,Ltd WS-650Mz-23NPPB 2 规格 1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； 1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米； 2.2 Wafer芯片尺寸满足5-150mm直径的材料，方片125x125mm； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； 4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； 4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准； 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹； 6、系统附件 6.1 原装进口水平测试仪； 6.2 两袋密封圈； 6.3 配有两套可更换的***元； 6.4 23N内存，用于维护设备腔体清洁。采购竞价网

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