*** 山东高密***

*** PTVD***

*** 1、设备外形尺寸：主机 500mm×500mm×1500mm（长×宽×高）； 2、主机骨架：采用4#型材焊接,表面烤漆处理，设备表面温度≤45℃； 3、真空腔体：采用不锈钢腔体外径φ70mm，石墨坩埚外径φ45mm； 4、真***路：采用KF25波纹管，与腔体之间方便拆装； 5、加热炉体相关参数： 5.1、炉体结构：一体式，上下两段； 5.2、炉体尺寸：φ385*400/300mm，两段加热器之间配置支撑保温； 5.3、长期工作温度：≤800℃； 5.4、设计最高温度：900℃； 5.5、单点温控稳定性：800℃±2℃； 5.6、开机温度重复性：≤2℃； 5.7、升温速度：≤10℃/分； 5.8、***区：2***区独立控制；***