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【广东省,中山市】中山大学微电子科学与技术学院真空蒸镀设备采购项目

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发布时间：2021-07-10

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招投标详情

***微电子科学与技术学院真空蒸镀设备采购项目

基本信息

项目编号***7“ class=“L003“>中大招（货）[2021]603号
项目名称	***微电子科学与技术学院真空蒸镀设备采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	真空蒸镀设备	采购单位	***
项目预算	***	采购开始时间	***	采购结束时间	***	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后30天交货	经办人	李老师	经办人电话	***
送货地址	*省市区珠**区红楼12栋
备注	1、国内供货请报含税人民币价*（进口）请报免税人民币价**必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价价部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价*td>

设备列表

采购设备

数量

参考品牌

详细响应要求

真空蒸镀设备

1台

【普迪】【科诚】【泰科诺】

详情请进入系统查看

“真空蒸镀设备“技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否需要附件说明
1	培训要求： 1、设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少3名操作人员能够排除大部分机器故障，熟练使用设备为止； 2、设备厂家需提供免费技术支持电话，解答用户问题并提供现场维护服务； 3、设备厂家需提供现场安装调试服务，提供详细技术资料并免费对我方进行培训，培训的内容及方案应由双方协商制定，确保本单位***。	重要	否
2	真空系统-高真空泵：脂润滑分子泵，抽速不小于1300L/S；	非常重要	是
3	极限真空：优于 5E-7 torr；	重要	否
4	★抽速测试：从大气抽到工作真空（5E-6 torr）时间少于 30 分钟（干燥环境下）；	非常重要	是
5	系统漏率：≤2x10-7 Pa.l/S (以氦质谱检漏仪测试指标考核）；系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压 12 小时后真空度小于10Pa; 基片加热：衬底最高加热温度500℃, 控温精度小于±3 ℃，具备等离子清洗功能；	重要	否
6	溅射尺寸：直径6英寸大工件台，兼容4英寸、2英寸、Φ45mm、Φ30mm，以及小尺寸方形片。基片旋转速度：5～25rpm连续可调，旋转轴水冷保护，转轴磁流体密封；成膜质量：直径4英寸范围内均匀性优于±5%；	非常重要	是
7	系统溅射真空度在1E-4 torr，溅射成膜致密，能溅射超薄氧化物膜层。	重要	否
8	真空室：优质304不锈钢真空室，尺寸约为500mm（宽）x 500mm（深）x 500mm（高），内外部电抛光处理；真空室顶部及底部有备用法兰接口以备将来使用；可拆卸不锈钢内衬；手拧拆卸方便清理；设备带支撑地脚和滚轮；	重要	否
9	真空室：系统配备自动进样室可一次传递4-6寸硅片一片	重要	否
10	真空系统-高阀： 8寸电动插板阀一套；机械泵：抽速不低于9L/S；真空测量：全真空全量程真空计；真空密封：采用无氧铜密封，门胶圈采用氟胶圈密封；电控气动粗抽阀，放气阀；	重要	否
11	真空系统-气体控制：2条*路，预*路通道备用，采用流量计控制进气，流量计最大流量分别不小于500/200sccm，2路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光EP管及VCR接头，混合后导入真空室前方进气；	重要	否
12	溅射系统-直流电源1台：不小于500W的直流电源，功率输出：单输出 0~500W，最大可输出到 500W；模式：功率调节、电流调节或电压调节；显示精度：小于最大输出值的 2%；多级弧抑制及灭弧；射频电源1台：不小于750W的射频电源, 自动匹配，频率: 13.56MHz, 误差不超过± 0.005 %，最大输出功率(W): 600W，最小输出功率(W):2W，反射功率极限(W): 小于200W；溅射靶枪：4个3英寸圆形靶枪共焦向下溅射，靶枪和工件距离 60-120mm可调节，溅射靶角度精确可调，靶枪倾斜角度可调节（0-40度），每个靶枪带一个独立的电控气动挡板，配备自动切换器各靶可独立/顺次/共同工作；	非常重要	是
13	溅射系统-进样室：1个自动进样室，尺寸长宽高约为350mm260mm260mm，配备电动自动搬运机械手一套，配备机械泵一套，配备阀门一套，配备真空计一套，配备自动门阀一套联通镀膜室；	重要	否
14	操作系统：PLC+电脑人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面；控制内容：机械泵，分子泵，气动、电磁阀门、流量计、真空计等等；自动抽真空，自动排气等；具有完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下，设备处于完整互锁保护下，保障人员和设备安全；	重要	否
15	附件参数： 1.静音空压机：提供干燥、干净、无水、无油的压缩空气，压力0.55-0.6MPA； 2.电脑与显示屏：CPU型号Intel i5系列，内存类型DDR4，容量和频率16G 2400MHz，新卡芯片型号GMA HD 630，主机接口类型和数量10×USB(含2.0，3.1)，视频接口类型和数量1×VGA，2×DP。硬盘参数500G SSD，显示器的规格和分辨率:19.5英寸（宽屏16：9），分辨率不低于1600×900，VGA接口×1。；	重要	否
16	软件及其功能：配套控制软件，实现手自动控制系统，具备图形可视化操作界面，控制真空系统和镀膜系统	重要	否
17	配置清单： 1.分子泵， 1台 2.高真空阀， 1套 3.机械泵， 1台 4.全量程真空计， 1套 5.小阀门电控气动阀， 2个 6.气体质量流量计 500/200sccm， 2个 7.直流电源最大输出功率可到500W， 1套 8.自动匹配射频电源1台，最大输出功率可到750W，频率13.56MHz，1套 9.磁控靶枪 3inch， 4只 10.PLC+电脑人机界面手自动控制系统完善的逻辑程序互锁保护系统， 1套 11.恒压控制系统含进口薄膜规及自动调压阀，1套 12.静音空压机小型， 1台 13.电脑与显示器，1套	重要	否
18	售后服务要求： 1、供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作； 2、收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试； 3、保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好； 4、每年至少提供一次免费上门检修服务。	重要

欢迎供应商注册、投标，如有疑问请联系技术支持qq:***88

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