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【湖北,武汉市】[HF20241506]MEMS表头工艺加工成交公告的中标公示

发布时间：2024-06-17

标签：中标公告湖北 [HF20241506]MEMS表头工艺加工成交公告的中标公示招标信息招标采购

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中标公告详情

[HF***]MEMS表头工艺加工成交公告 1.项目名称：MEMS表头工艺加工 2.成交供应商名称：中山大学南昌研究院 3.成交供应商地址：***省***市***区瑶湖***道中山大学南昌研究院精密测量研发中心 4.成交金额***10***元 5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额***验收合格后付合同金额***.主要成交标的：序号服务内容服务期限 1 1）晶圆级键合工序流片6对，键合前检验、处理、键合对位、键合、超声检测、减薄 2）MEMS表头机械结构深硅刻蚀加工10片（叠片、深刻蚀刻穿、干法去胶） 3）三层晶圆器件层流片1片（加工金属层1、连接口1、金属层2、深刻蚀、键合层） 4）三层晶圆上盖片流片（加工金属层1、金属层2、开窗层、连接孔1、连接孔2、台阶层） 5）三层晶圆下托片及键***道工序流片（背面标记层、正面键合层、键合、减薄、划片、贴片、打线）合同签订后12个月华中科技大学物理学院 ******月***日

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