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【湖北,武汉市】[HF20243168]MEMS加速度传感芯片关键工艺加工成交公告

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标签：中标公告湖北 [HF20243168]MEMS加速度传感芯片关键工艺加工成交公告招标信息招标采购

发布时间： 2024-10-26

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中标公告详情

[HF***]MEMS加速度传感芯片关键工艺加工成交公告 1.项目名称：MEMS加速度传感芯片关键工艺加工 2.成交供应商名称：中山大学南昌研究院 3.成交供应商地址：***省***市***区瑶湖***道中山大学南昌研究院精密测量研发中心 4.成交金额***14***元 5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额***货到验收合格后付合同金额***6.主要成交标的：序号服务内容服务期限 1 对MEMS加速度传感芯片关键工艺加工，加工要求： (1)光刻精度:±1um; (2)深刻蚀厚度:大于500um; (3)镀膜厚度误差:±50nm; (4)镀膜后光学品质因数:大于10000 3个月华中科技大学物理学院 ******月***日

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