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竞价******7258） > > 返回申购单主题： 2013F448腔体等离子体增强化学气相沉积申购单位：电子与信息工程学院（微电子学院）申购人：郑新国报价***内含税价***：人民币公示时间：*** 申购备注：设备名称品牌/厂商型号数量售后服务 2013F448 *** PlasmaPro System100 1 规格 1台Alcatel ADS 602P和1台Alcatel ACP 28G真空泵维修和保养： 1.全面拆解，超声波全面清洗并烘干 2.更换原装标准维修包 3.更换原装马达轴承及全新氟油 4.马达线圈阻抗测量，排气阀，防倒吸阀测量及清理 5.用氦质谱检漏仪测量干泵漏率中标供应商单价***选理由 *** 22000 采购竞价网

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