***沈阳科仪***

***PLD***

***一、系统的主要组成及技术指标 极限真空度：≤4x10-5 Pa (经烘烤除气后)； 达到极限真空后停泵关机12小时真空度优于5Pa。 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，***分钟可达到5x10-4 Pa； 激光入射口到地面的距离为1200mm； 系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工***路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成； 1、溅射真空室组件 球型真空室尺寸Ф300mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1.1、RF150法兰接口：1个（活开门组件）； 1.2、CF150兰接口：3个（基片样品台组件、靶组件,分子泵）； 1.3、RF63法兰接口：4个（激光入射窗口、红外测温窗口、观察窗口2个）； 1.4、CF16法兰接口：6个（进***路、充气阀、高压放点电极、电阻规、备用2个）； 1.5、CF50法兰接口：2个（备用）； 1.6、CF35法兰接口：4个(电离规管、照明、旁抽、备用)； 2、旋转靶台组件 2.1、每次可以装四块靶材，靶材尺寸：Φ20mm；（客户自购靶材，可根据实际尺寸定做过渡环用于放置小靶材）。 2.2、每块靶材可实现自转，转速5～60转/分，连续可调。 2.3、靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构***。 2.4、靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染； 3、抗氧化基片加热台组件 3.1、基片尺寸：可放置φ1″基片； 3.2、基片加热炉最高温度 800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化电阻丝材料作加热器； 3.3、基片可连续回转，转速5～50转/分，电机驱动磁耦合机构***； 3.4、基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构***（在真空的环境下在腔外操作）； 3.5、手动控制样品挡板组件：1套； 3.6、样品托：2个；（样品托在打开真空室门的时候，手动从样品台上取出） 4、窗口及法兰接口部件 4.1、RF150活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、RF100观察窗）； 4.2、RF63石英玻璃窗口：1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）； 4.3、RF63光学玻璃窗口：1块； 4.4、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）； 4.5、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）； 4.6、盲法兰：CF16、CF35各1个；CF50，2个； 5、工***路 5.1、100SCCM/50SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、针阀（针阀与MFC串联使用）、管路、接头等：***路 5.2、充气阀DG16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）； 6、抽气机组及阀门、管道 6.1、复合分子泵及控制电源：1台（抽速600升/秒 北京科仪）（用户自备）； 6.2、旋片油真空泵：1台（抽速8升/秒 北京优成）； 6.3、手动插板阀CF150：1台（用于分子泵与真空室隔离） 6.4、手动角阀CF35：1台 6.5、KF40电磁隔断阀：1台； 6.6、KF25电磁压差阀：1台； 6.7、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ； 6.8、机械泵与真空室之间的旁***路：1套 ； 7、安装机台架组件 优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四支脚轮，可固定，可移动。 8、真空测量及电控系统 8.1、电源机柜：1台（含总控电源，有断电保护功能）； 8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀等提供电源）； 8.3、样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）； 8.4、电机旋转电源：1套； 8.5、加热烘烤及照明电源：1套； 8.6、宽量程数显真空计：1套；英福康 大气～5X10-9mbar （1×105～5×10-7Pa） 8.7、质量流量显示器：1套；北京七星 8.8、激光扫描电源：1套； 9、备件 9.1无氧铜密封垫圈***路：CF16：2个；CF35：2个；CF50：2个；CF150： 2个；￠6mm卡套：2套；￠6mm不锈钢管：6m； 9.2氟橡胶密封圈：￠150mm：1个；￠125mm：1个；￠63mm：1个； 9.3烘烤带：2条；（不带控温电源） 9.4碘钨灯：5个； 9.5样品加热炉丝：1套； 9.6￠63mm光学玻璃：1块； 9.7小型不锈钢标件M3、M4：各3个； 9.8电器相关的保险丝：各10个。 9.9测试靶材：4块（钛靶材、铜靶材、铁靶材、铝靶材）仅供测试练习用途。 10、计算机控制系统 由计算机、硬件卡、软件组成；控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温等。 11、激光器（用户自备）。 12、主要配置清单 序号 名称 型号 产地 数量 1 球形真空室 非标 沈阳科仪 1台 2 四工位转靶组件 非标 沈阳科仪 1套 3 旋转基片台组件 非标 沈阳科仪 1套 4 加热控温电源 日本产控温表 沈阳科仪 1台 5 质量流量控制器 100/50SCCM 北京七星 ***路 6 机械泵 TRP-36 北京优成 1台 7 插板阀 CF150 沈阳科仪 1台 8 台架 非标 沈阳科仪 1台 9 电控柜 非标 国产 1台 10 真空计 MPG400 英福康 1套 11 计算机部分 国产 1套 12 相关控制电源 非标 沈阳科仪 1套 13 其他组成零部件 非标 沈阳科仪 1套 二、技术服务及质量保证 1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输； 2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书； 3、在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费； 三、现场安装具备的条件 1、电源380V 50Hz 功率大于10KW，波动范围：小于±6％，配***路接线插座； 2、可靠地线, 对地电阻小于2Ω； 3、安装场地面积大于25M2,高度要求高于2.4M； 4、要求安装场地的标准温度为20℃～24℃，标准相对湿度为50%～60%； 5、要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间； 、外排废***道；***