*** 苏州方昇***

*** FS380-S***

*** 有机-金属真空热蒸发镀膜系统1套 （一）主要技术参数要求 1、整体性能 1）采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质进口铝型材搭建；2）机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定设备。 2、样品台 1）基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-60转/分可调；2）提供一套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙≤0.2mm；3）样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性；4）挡板采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制。★5）基片盘有效蒸镀面积≥120mm*120mm，还可容纳12片≥20mm*20mm的基片盘，采用抽屉式安装方式，附带一套掩膜板。 3、蒸发源 1）共8组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板；2）配2套进口蒸发电源，功率1.4KW和0.6KW及以上，最高升温温度可达1500℃，电流驱动加热形式，可精确到0.1A，实现蒸镀速率0.01 A/S的精度显示。3）有机和金属蒸发源均带有水冷功能。 4、膜厚测量系统 1）采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；膜厚精度误差在正负0.01A/S；可以显示2个膜厚探头的读数，可显示2条共蒸曲线。 2）石英晶振探头2个，2个带水冷，位于基片盘两侧。 5、蒸发腔体 1）腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸≥380×380×530mm；2）腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为推拉门，用于连接手套箱。一个为旋转开启，用于维护清理；3）腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度≤0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度≤0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕；4）腔体漏率：整体漏率≥5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强＜10Pa。 6、蒸镀真空系统 1）极限真空≤4×10-5pa；2）主泵抽速≥700L/S，采用分子泵；3）前级泵抽速≥15 m3/h；4）气动高真空插板阀，通径≥150mm；5）带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；6）腔体充氮气，从常压抽至5×10-4pa的时间要求≤***分钟。★7）提供腔体RGA分析报告。 7、蒸镀软件控制系统 1）采用PLC+触摸屏控制模式；2）真空系统的控制分为手动和自动二种模式。自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭；3）带有触摸屏控制，可通过软件进行相关操作；4）带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温，也可手动输入控制数据；5）带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制； 8、验收、培训及服务 1）厂商需负责镀膜系统与惰性气体环境系统的对接和调试；2）提供设备的操作培训；3）提供设备的常见问题处理培训，日常维护保养培训；4）提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员进行现场培训，包括有蒸镀技巧，共蒸发注意事项，掺杂蒸发技巧，常见有机材料选用注意事项等，并提供设备样机试用时的有机及金属材料，同时对各项指标进行验收，若不能满足用户实验需求，用户可退货；同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。 9、其他伴随服务 1）提供备用配件一套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各1套。2）质保期≥1年，软件终身免费升级。***