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【广东,广州市】微型二通道混气CVD沉积系统

发布时间：2022-11-18

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招投标详情

暨南大学 - 竞价***B***)

发布时间：***截止时间***：***

基本信息：

申购明细：

序号

******

采购内容

*** 1200°C微型***道混气CVD系统***

数量

******

预算单价***>

***品牌***

*** 合肥科晶***

***型号***

*** OTF-1200X-S50CGM-2PN816.3KT.18PCG***

*** 规格参数***

*** 1:OTF-1200X-S 管式炉 :炉管尺寸Φ50×700***元件电阻丝***区长度 200mm，***区长度65mm，工作温度 ≤1100℃，最高温度1200℃，控温方式智能化50段可编程控制，恒温精度±1℃，炉门结构开启式，工作电源AC220V /50HZ/60HZ，额定功率1.2KW，外型尺寸350×320×395mm，炉膛尺寸Φ82×210mm，2:CGM-2F 小型***道供气系统：两个浮子流量计的流量范围10 ~110 mL/min，三个机械压力表 (混气室): -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)，采用SS304精密不锈钢针阀，连接采用1/4"管径不锈钢和聚四氟乙烯管30米，外形尺寸: 340L×300D×180H mm ，3:N816.3KT.18 泵、挡板阀、油雾过滤器及链接配件一套，4：防腐真空计及电阻规一套，镐酸钡瓷舟加盖10套，加固角流量计，石英管Φ50×700mm 3根。空气开关40A含上门安装。***

***质保及售后服务***

*** 按行业标准提供服务***

***附件***

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