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【广东,深圳市】PECVD系统

发布时间：2022-12-02

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招投标详情

***先进能源学院PECVD系统采购项目

基本信息

项目编号***7" >中大招（货）[2022]1739号
项目名称	***先进能源学院PECVD系统采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	PECVD系统	采购单位	***
项目预算	***	采购开始时间	***	采购结束时间	***	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后60天交货	经办人	王老师	经办人电话	***转807
送货地址	*省市区路66号深区，校内具体地点**。
电子签章	本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注	1、本项目国内货物部分：含税人民币报价*按“ 国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《进口货物采购合同》的“1.3付款方式（2）通过网上竞价式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由乙方支付。必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价价部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http*.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、“★”标注的技术参数为废标条款，如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备

数量

参考品牌

详细响应要求

PECVD系统

2台

【合肥科晶】【河南诺巴迪】【上海申大电炉】

详情请进入系统查看

"PECVD系统"技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否需要附件说明
1	1、输入电源: 208 – 240V AC，功率：≥1.2kW；	重要	否
2	2、最高工作温度≥1200°C，小于***分钟；	重要	否
3	3、炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命；	非常重要	是
4	4、连续工作温度≥1100°C；	非常重要	是
5	5、炉管采用高纯石英管：≥50mmOD x 44mmID x 1000mm L；	重要	否
6	6、可设置至少30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能；	重要	否
7	7、*区长度：≥200mm *区；	非常重要	是
8	8、 ***区2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C；	重要	否
9	9、输出功率: 5 -300W 可调稳定性± 1%；	非常重要	是
10	10、射频电源频率: 13.56 MHz 稳定性±0.005% ；	重要	否
11	11、最大反向功率: 200W ；	非常重要	是
12	12、等离子体射频电源：射频电源电子输出端口: 50 Ω, N型半导体, 阴极，噪音: <50 dB，冷却: 风冷，电源: 208-240VAC, 50/60Hz；	非常重要	是
13	13、真空泵：AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W；≥2 Liter /S ；出气端安装有油雾过滤器；真空度: 10-2 torr；	重要	否
14	配置清单： 1、主机一套 2、真空泵一个 3、管堵一套 4、石英管一根	重要	否
15	保修范围：主机和所有附件。售后服务要求： 1. 设备投标商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作； 2.收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试； 3.提供全套说明书并包括简易的中文操作说明和注意事项； 4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好； 5.能快捷地提供各相应零配件，消耗性材料的补充服务，提供保修期外零配件会员价* 培训要求： 1.设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少3名操作人员能够排除大部分机器故障，熟练使用设备为止； 2.设备投标商需提供免费技术支持电话，解答用户问题并提供现场维护服务； 3.设备投标商需提供现场安装调试服务，提供详细技术资料并免费对我方进行培训，培训的内容及方案应由双方协商制定，确保本单位*。	重要	否

欢迎供应商注册、报价***请联系技术支持qq:***88

1、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
2、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
a、对公转账一般到账时间需要四个小时，缴费确认需要四个小时以上，节假日期间请使用微信支付
b、推荐使用微信支付，微信支付实时到账系统自动确认收款，可马上报价***r> 3、资料准备时间为1-***日，请供应商提前准备。
4、供应商第一次报价***长时间，请提前报价***div class="modal-footer" style="text-align: center;margin-top: 50px">

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