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项目信息网 > 招投标信息 > 招标预告 > 深圳技术大学分子束外延意向公开
【广东,深圳市】深圳技术大学分子束外延意向公开
发布时间：2023-04-07
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标签： 招标预告广东深圳技术大学分子束外延意向公开深圳技术大学招标信息招标采购
发布时间 2023-04-07 截止日期 立即查看
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招投标详情

***分子束外延意向公开
采购单位:***
项目名称:分子束外延
预算金额***/td>2,941,220.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购分子束外延一套，用于生长砷化物半导体，开展非传统外延方法与机理研究，以更好地实现X-on-Si和X-on-Y外延集成，配置包括：2英寸样品台热辐射最高温度不低于1000℃，最高耐氧温度不低于850℃；主要技术配置面向砷化物III-V族半导体外延生长；生长室本底真空优于2x10^-10 mbar；配置能量不低于20keV的反射式高能电子衍射仪（RHEED），并配备采集分析软件，软件可永久免费使用；配置红外测温仪，用于非接触直接测量样品表面温度，测温范围不小于150-1800℃；配置石英振荡膜厚仪一套，用于蒸发速率检测，速率显示分辨率不低于0.1/s；至少2年质保。
联系人:张玉龙
联系电话:***
预计采购时间:2023-05
备注:无
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