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【广东,深圳市】哈尔滨工业大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开

发布时间：2024-03-22

标签：招标预告广东哈尔滨工业大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开哈尔滨工业大学（深圳）招标信息招标采购

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***ALD原子层沉积系统意向公开 ***ALD原子层沉积系统意向公开******ALD原子层沉积系统意向公开采购单位: *** 项目名称: ALD原子层沉积系统预算金额***采购品目: 真空应用设备采购需求概况: 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积； 2. 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解； 3.设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s； 4.多种沉积模式：快速模式、充分暴***元掺杂模式。 5.常温***路，加热***路；每路源配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms)； 6. 臭氧发生器产量不低于20 g/h，浓度不低于100 g/m3； 7. 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于***0 mm； 8.配备进口压力传感器，检测范围：510-4~1000 mbar； 9. 真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300 ℃，控制精度±1℃； 10. 力学载台压力不低于10KN，加热最高温度400℃ 联系人: 秦敬凯联系电话: *** 预计采购时间: 2024-05 备注: 无本次公开的采购意向是本单位***,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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