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【安徽,蚌埠市】安徽华鑫微纳集成电路有限公司-8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台-招标公告

发布时间：2024-04-01

标签：招标预告安徽安徽华鑫微纳集成电路有限公司-8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台-招标公告安徽华鑫微纳集成电路有限公司招标信息招标采购

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[if gte mso 9]>MireyaMireya***F30242E39D73B73DF2F6CB38_132052-12.1.0.16417eyJoZGlkIjoiZjg1Mjk3MTczMGU1MmU0YmIyY2UyOWU1MjRlNjQzZGIifQ==Microsoft***Specified7.8 磅Web0 8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台招标公告一、项目概况 [if !supportLists]1. [endif]项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台 [if !supportLists]2. [endif]项目编号***sts]3. [endif]供货范围：通过真空泵组排气，在具有加热除气功能且密闭性良好的腔室中建立高真空环境。当腔室内部达到本底真空后，利用电子束蒸发Ti、Pt、Au、Cr、Ta等材料，使其均匀沉积在晶圆表面，以获取相应制备材料的金属薄膜。 [if !supportLists]4. [endif]质量要求：工艺腔室本底真空：优于3E-7Torr；真空抽速：室温下***分钟从大气抽到3E-6Torr或更优；真空室漏率：＜7.5E-10Torr•L/s；冷泵正常工作时，一级温度≤65K，二级温度≤12K；二、供应商资格要求: 详见中国国际招标网三、报名方式本项目采取公开方式选择供应商，***电子招投标平台在******月***日***时***分前报名参加本项目。四、采购文件的获取 1、采购文件获取地地址：本项目不再提供纸质采购文件，***电子招投标平台下载采购文件。 2、***电子招投标平台进行注册。注册账号审核通过后，在“用户登录”，输入账号及密码登录系统，点击→，找到《8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台》，点击“”，即可查看项目信息并报名参与项目。只有登记购买本招标文件***。五、投标地点***： ***市***区北三***路25号英斯泰克大厦5层会议室请投标人的法定代表人或其授权的投标人代表出席开标仪式。六、公告媒体本公告在在“中国政府采购网”***电子招投标平台发布。对于其他媒介发布的本项目公告，招标代理机构***。七、凡对本次招标提出询问，***联系：招标代理机构：*** 地址：***市***区通用时代中心邮编：100073 联系人：*** 联系电话：***520 电子邮件：tangyutong1@cnic.gt.cn 采购人：*** 地址：***省***市东***道888号电话：***315 *** ******月***日 EndFragment

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