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项目信息网 > 招投标信息 > 招标预告 > 深圳国际量子研究院全自动涂胶显影机意向公开
【广东,深圳市】深圳国际量子研究院全自动涂胶显影机意向公开
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标签： 招标预告广东深圳国际量子研究院全自动涂胶显影机意向公开深圳国际量子研究院招标信息招标采购
发布时间： 2024-09-12
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招标预告详情

***全自动涂胶显影机意向公开
采购单位:***
项目名称:全自动涂胶显影机
预算金额***/td>11,500,000.000
采购品目:其他机械设备
采购需求概况:本次拟采购一台全自动涂胶显影机，该设备由主控制器、开放式载体站模块、工艺模块、交流电源箱、不***元的接口模块、外部化学品柜、温度控制柜、杯温湿度控制***元、匀胶单***元、增粘单***元（包括低温热板、高温热板、高精度热板***元等组成，并且可以与光刻机联机，以实现6英寸和8英寸晶圆全自动、无接触、高质量的涂胶、烘烤和显影工艺。
全自动涂胶显影机是大规模高性能量子器件的工艺开发和小批量生产的核心设备。该设备将用于我院超导量子计算芯片、硅基量子点芯片、微光机电传感器芯片和超低损耗氮化硅光子集成芯片等器件的制备，实现量子计算、量子传感的片上应用。
预计采购时间:2024-11
联系人:王老师
联系电话:***
备注:无
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