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项目信息网 > 招投标信息 > 招标预告 > 深圳大学激光直写光刻机意向公开
【广东,深圳市】深圳大学激光直写光刻机意向公开
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标签： 招标预告广东深圳大学激光直写光刻机意向公开深圳大学招标信息招标采购
发布时间： 2024-09-25
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招标预告详情

***激光直写光刻机意向公开 采购单位: *** 项目名称: 激光直写光刻机 预算金额***4,900,000.000 采购品目: 激光仪器 采购需求概况: 激光直写光刻机需具备405nm 和375nm 两种激光光源，最小曝光结构尺寸需达到300nm，同时配备不少于三种曝光分辨率书写模式如600nm、900nm以及5um用于快速完成不同细节要求的结构；为满足多层结构加工需求，正面套刻需要保证对位精度，套刻精度不大于250nm；此外灰度曝光能力不低于4096阶，实现精细控制灰度曝光精度；可加工的尺寸应满足八寸片且向下兼容；售后需提供3年维保。 联系人: 刘老师 联系电话: ***059 预计采购时间: 2024-10 备注: 无
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