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项目信息网 > 招投标信息 > 招标预告 > 深圳大学四腔室PECVD意向公开
【广东,深圳市】深圳大学四腔室PECVD意向公开
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标签： 招标预告广东深圳大学四腔室PECVD意向公开深圳大学招标信息招标采购
发布时间： 2024-10-01
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招标预告详情

***四腔室PECVD意向公开 采购单位: *** 项目名称: 四腔室PECVD 预算金额***1,800,000.000 采购品目: 核技术应用设备 采购需求概况: 用来制备高纯锗单晶、硅单晶深槽中子探测器时，在表面沉积多种介质膜。为了防止交叉污染，需要配备四腔室；分别完成本征薄膜、SiNx/SiONx/SiO2膜、掺碳薄膜和n型薄膜的生长。具备2英寸、4英寸和6英寸处理能力。 预计采购时间: 2024-12 联系人: 胡老师 联系电话: ***717 备注: 无
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