等离子体表面处理机（清采比选20241978号）延期公告

发布时间： 2024-12-09

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等离子体表面处理机（清采比选***号）延期公告发布时间：***阅读量：30 次 ngIf: publish.type.substring(0, 2) == "YQ" 延期信息延期理由：由于该项目报价***不满足要求，本项目延期至***无 end ngIf: publish.type.substring(0, 2) == "YQ" ngIf: publish.type.substring(0, 2) == "BG" 采购项目名称等离子体表面处理机采购项目编号**** 公告截止时间****** 对外联系人本项目不接受咨询咨***道已联系电话本项目不接受咨询咨***道已签约时间要求成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位***) 交货时间要求签订合同后30个工作日内采购单位 *** 最高限价***000.00 未公布国内合同付款方式合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10% ngIf: enquiry.foreignPayWay 国外合同付款方式 100%信用证，90%发货后凭装运单兑付，10%验收合格后 end ngIf: enquiry.foreignPayWay 交货地址 ***市***区中关村环保园58号院***楼供应商特殊资质要求符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ngRepeat: qual in enquiry.quals 无公告说明 ngRepeat: item in enquiry.items 采购清单1 物资名称采购数量计量单位所属分类等离子体表面处理机 1 套 {{item.categoryName}} 无无品牌品牌1 Plasma Etch 型号 PE100 品牌2 型号品牌3 型号单价***0,000.00 技术参数及配置要求 1 6061铝合金材质无缝焊接的真空腔体，真空室不小于12"W × 14"D × 12"H； 2 射频发电机+匹配变压器，300 W @ 100～460 KHz； 3 发生器误差小于设定值±2%； 4 质量流量控制器：2***路，流速0～100 cc/min； 5 另***路冲***路，1路破真空进***路； 6 表面微加工精度达10 nm； 7 干泵排气速度＞10 m3/h； 8 配有Pirani压力计，实时数字显示工艺舱的压力值； 9 极限真空度≤1 Pa； 10 热电偶真空计时间控制可以精确到秒； 11 Windows控制系统，支持自动/手动控制模式自由切换，实时显示工艺过程，通过图表和数字实时显示气体流量、压力、等离子清洗时间，功率等工艺参数； 12 安全功能：温度、压力、门锁互锁功能； 13 报警功能：工艺气体异常报警，设置参数异常报警，显示详细报错信息； 14 设备可靠性：具有该响应型号不少于3份海内外知名高校（QS200）或厂商（***）供货业绩，提供合同证明。 {{tech.remark}} 质保期 60个月 end ngRepeat: item in enquiry.items ****** ngRepeat: attach in publish.attach

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标签：清华大学招标信息招标采购

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